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日本昭和ssvi主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

日本昭和ssvi主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

產(chǎn)品型號(hào):

所屬分類:振動(dòng)檢測

產(chǎn)品時(shí)間:2025-05-03

簡要描述:日本昭和ssvi主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型
配備了專門用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動(dòng)。
原始的主動(dòng)振動(dòng)隔離算法可高速計(jì)算,高精度高輸出執(zhí)行器可立即消除振動(dòng)。

詳細(xì)說明:

日本昭和ssvi主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

日本昭和ssvi主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型


配備了專門用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動(dòng)。

原始的主動(dòng)振動(dòng)隔離算法可高速計(jì)算,高精度高輸出執(zhí)行器可立即消除振動(dòng)。

超靈敏的加速度傳感器慷慨地安裝在地板一側(cè),前饋控制實(shí)現(xiàn)了世界上gao水平的隔振性能。

在保持高性能和高精度隔振性能而沒有共振現(xiàn)象的同時(shí),安裝臺(tái)的激振力所產(chǎn)生的振動(dòng)也會(huì)同時(shí)衰減。

日本昭和ssvi主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

  • 無共振的振動(dòng)傳遞特性。實(shí)現(xiàn)從低頻到高頻的超寬帶隔振。

  • 具有6個(gè)自由度的高精度位置控制可確保穩(wěn)定的隔振性能和位置精度。

  • 可以選擇能夠應(yīng)對較大移動(dòng)負(fù)載的高速響應(yīng)大流量閥。

  • 安全可靠的設(shè)計(jì)與CE標(biāo)記兼容。(控制器SAC-07)

  • 標(biāo)配臺(tái)前饋功能和振動(dòng)波形顯示分析軟件。

日本昭和ssvi主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

  • 在半導(dǎo)體制造和檢查設(shè)備中,它被用作需要精細(xì)處理的晶片的振動(dòng)對策以及用于移動(dòng)晶片的臺(tái)架的振動(dòng)對策。

  • 在液晶制造和檢查設(shè)備中,其目的是在機(jī)架和工作臺(tái)明顯移動(dòng)時(shí)快速衰減振動(dòng),并用于立即檢查和校正,這有助于縮短節(jié)拍時(shí)間。

  • 在超精密機(jī)床中,它用于消除工作臺(tái)上的振動(dòng),該工作臺(tái)用于精密加工,同時(shí)支持大載荷的運(yùn)動(dòng)。

日本昭和ssvi主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

日本昭和ssvi主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

模型可安裝質(zhì)量(1個(gè)單位)尺寸(1個(gè)單位)
VAAV-550A270?900公斤215(寬)x 160(深)x 170(高)毫米
VAAV-1000A500-1700公斤225(寬)x 210(深)x 170(高)毫米
VAAV-2200A1100-3700公斤280(寬)x 240(深)x 208(高)毫米
VAAV-4000A2100-7000公斤330(W)x 270(D)x 208(H)毫米
VAAV-10000A5000?17,000公斤465(寬)x 400(深)x 240(高)mm
VAAV-20000A11400-38,000公斤600(W)x 600(D)x 284(H)毫米
VAAV-30000A15,000-50000公斤700(W)x 700(D)x 182(H)毫米
HA-450水平執(zhí)行器480(寬)x 365(深)x 405(高)毫米
  • *防震臺(tái)的標(biāo)準(zhǔn)配置為4單位/ 1單位。

  • * HA-450是與VAAV-30000A組合使用的臥式執(zhí)行器。

  • *表中的大值可以在沒有均勻負(fù)載和沒有動(dòng)態(tài)負(fù)載的情況下應(yīng)用。

控制器
SAC-07
日本昭和ssvi主動(dòng)隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型300(W)x 300(D)x 118(H)毫米
電源供應(yīng)AC100V-240V 100VA(單相)
電源線3m
調(diào)節(jié)器
RGU-07
250(W)x 100(D)x 200(H)毫米
單元連接電纜5m
自由度3軸6自由度




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