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Atomax AM系列二流體噴嘴高精度噴涂選型指南

發(fā)布時間:2025-07-06 點(diǎn)擊量:140

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一、選型概述

Atomax AM系列二流體噴嘴專為高精度噴涂需求設(shè)計(jì),適用于半導(dǎo)體、電子元件、醫(yī)療設(shè)備、功能性薄膜及滅菌消毒等領(lǐng)域。該系列通過精密霧化技術(shù),可生成超細(xì)顆粒(可達(dá)微米級),實(shí)現(xiàn)均勻、可控的薄膜沉積。選型時需綜合考慮噴涂精度、流量范圍、液體特性及工藝要求。

二、型號特性與適用場景

1. AM6型(超微量精密噴涂)

  • 核心特點(diǎn):極小流量設(shè)計(jì),霧化顆粒極細(xì),適合納米級薄膜沉積。

  • 適用場景:

    • 半導(dǎo)體晶圓的光刻膠、介電層噴涂

    • 電子元件(如PCB、MEMS)的納米級功能涂層

    • 實(shí)驗(yàn)室級高精度材料沉積

  • 適配要求:

    • 推薦搭配低功率壓縮機(jī)(20-750W)

    • 適合低粘度液體(<30cP)

2. AM12型(微量高精度噴涂)

  • 核心特點(diǎn):在保持超細(xì)霧化的同時,提供更穩(wěn)定的微量液體控制。

  • 適用場景:

    • 電子元件超薄膜層(厚度<1μm)

    • 光學(xué)鍍膜、傳感器敏感層噴涂

    • 要求均勻性的R&D實(shí)驗(yàn)

  • 適配要求:

    • 需配合精密流量控制系統(tǒng)(±0.1μl/min級)

    • 適合中等揮發(fā)性液體

3. AM25型(精密噴霧,兼顧效率)

  • 核心特點(diǎn):平衡霧化精度與流量范圍,適合中等噴涂需求。

  • 適用場景:

    • 醫(yī)療設(shè)備(如支架、植入物)的功能性涂層

    • 工業(yè)級薄膜沉積(如太陽能電池、柔性電路)

    • 科研領(lǐng)域的可控材料噴涂

  • 適配要求:

    • 可處理稍高粘度液體(<50cP)

    • 需中高壓氣源支持

4. AM45型(高精度廣域噴涂)

  • 核心特點(diǎn):在保持精細(xì)霧化(~5μm)的同時,覆蓋更大面積。

  • 適用場景:

    • 無塵室表面滅菌(如過氧化氫霧化)

    • 大面積功能性涂層(如抗菌薄膜)

    • 工業(yè)設(shè)備防護(hù)層噴涂

  • 適配要求:

    • 適合中高流量需求

    • 需驗(yàn)證與腐蝕性液體的兼容性

三、選型關(guān)鍵因素

1. 噴涂精度需求

  • 納米級薄膜:優(yōu)先AM6或AM12

  • 微米級均勻涂層:AM25或AM45更高效

2. 液體特性

  • 低粘度(<30cP):AM6/AM12最佳

  • 中高粘度(30-50cP):AM25/AM45更合適

  • 腐蝕性/揮發(fā)性液體:需確認(rèn)噴嘴材質(zhì)兼容性(如PTFE襯里)

3. 工藝參數(shù)匹配

  • 極小流量(<5ml/min):選擇AM6/AM12

  • 中等流量(5-20ml/min):AM25更優(yōu)

  • 大面積噴涂:AM45效率更高

4. 環(huán)境與系統(tǒng)要求

  • 潔凈室應(yīng)用:需選擇低顆粒釋放型號(如AM6)

  • 自動化集成:確認(rèn)噴嘴的機(jī)械接口(如螺紋規(guī)格)

  • 氣壓需求:高精度噴涂通常需穩(wěn)定氣壓(0.2-0.5MPa)

四、選型流程建議

  1. 明確需求:

    • 目標(biāo)涂層厚度、均勻性要求

    • 液體屬性(粘度、揮發(fā)性、腐蝕性)

    • 噴涂面積與產(chǎn)能要求

  2. 初步篩選:

    • 根據(jù)流量和精度鎖定1-2個候選型號

  3. 驗(yàn)證測試:

    • 進(jìn)行霧化均勻性測試(如基板沉積觀察)

    • 評估長期運(yùn)行穩(wěn)定性(≥8小時連續(xù)噴涂)

  4. 廠商對接:

    • 提供液體參數(shù)和工藝細(xì)節(jié),獲取定制建議

    • 必要時申請樣品進(jìn)行實(shí)際工況測試

五、維護(hù)與優(yōu)化建議

  • 定期清洗:防止噴嘴堵塞(尤其用于高固含量液體時)

  • 參數(shù)校準(zhǔn):長期使用后需重新優(yōu)化氣壓/流量比

  • 升級選項(xiàng):高磨損場景可選用耐磨材質(zhì)噴嘴(如陶瓷噴口)

六、結(jié)論

Atomax AM系列可滿足從實(shí)驗(yàn)室級納米薄膜到工業(yè)級高精度噴涂的多樣化需求。選型時需以精度和液體兼容性為核心,結(jié)合流量與工藝要求選擇優(yōu)型號。


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