半導體行業用ekkeagle磁流體密封件介紹
利用磁性流體沿著磁鐵的磁力線接近的特性，它是一種通過將流體保持在旋轉軸的密封部分來主要阻擋大氣和真空的密封。 它用于半導體制造設備和平板顯示器制造設備的真空密封，以及用于輸送的機器人軸承的防塵密封。
磁流體密封中最重要的磁性流體由三個主要成分組成：（1）磁性顆粒，（2）表面活性劑和（3）基礎流體。 所有這些都是在NOK集團內部開發和制造的，我們通過我們的分散技術，表面活性劑調節技術和超低蒸氣壓油制造技術，使用其他公司沒有的優質流體提供磁性流體密封件。
1.磁流體密封原理
（1）它是通過干預流體阻塞大氣和真空（或大氣）的密封。
（2）由于密封部分沒有滑動點，因此不會因磨損而產生異物，并且密封件扭矩低。
2. 磁性流體密封件的特點
（1） 磁性細顆粒、（<>） 表面活性劑和 （<>） 基礎液都是 NOK 集團內磁性流體的組成部分。
開發和制造。
（2）由于它是由磁性流體的成分制成的，因此實現了其他公司無法達到的高溫特性和低蒸氣壓特性。
a.我們可以處理高達220°C的環境溫度。 〔E-01Pa〕
b. 它可以處理高達E-09Pa或更低（室溫）而無需操作排氣。
（3）多軸如同軸2軸和3軸，每個軸可以獨立旋轉。
