ballwave微量水分計的特點及陣容介紹
 

　　
 

　　超微量水分計“Falcon Trace”是使用球型SAW傳感器定量測量工業氣體和天然氣中極微量水分子的設備。
 

　　響應速度極快，可實時監測含水量變化，可測量含水量和背景氣體成分分析兩項。氣體中的水濃度可以精確測量到 1ppb(十億分之一)的水平。
 

　　案例研究/應用
 

　　半導體制造設備制造商
 

　　(主要是前端工藝)
 

　　電池制造商
 

　　及其材料制造商的制造過程
 

　　工業氣體制造商
 

　　產品陣容
 

　　響應速度極快，可在數秒內監測含水量變化，有助于穩定半導體和二次電池制造過程中的產品良率和質量。
 

　　無需對每種背景氣體進行重構，當天然氣等成分有波動時，可以同時檢測。另外，由于傳感器材料是水晶球，耐腐蝕，而且重量輕，攜帶方便，這也是一大優勢。
 

FT-700WT
 

　　實現“超”微量水分測量的系列機型
 

　　測量范圍從露點 -110°C 到 -20°C
 

　　除露點測量外，背景氣體*成分(相當于平均分子量)也以 % 水平檢測
 

　　* 背景氣體：測量水含量的氣體
 

　　從天然氣到高純度氣體，這一單元涵蓋
 

　　應用示例
 

　　工業氣體制造過程/出貨時的質量控制，半導體制造材料氣體的純度控制
 

FT-400WT
 

　　可在中等范圍內進行實時測量的中等型號
 

　　在 1 秒內測量從 -90°C 的露點開始的變化，非常適合實時控制系統測量
 

　　也可以更改為設備內置類型*
 

　　* 請聯系我們
 

　　應用示例
 

　　一般生產線的質量控制，電池制造過程的水分含量監測
 

FT-300WT
 

　　在保持高速響應性的同時強調便攜性的小型通用型號
 

　　1秒內測量-70°C露點的變化，支持實時測量系統
 

　　輕巧緊湊，重量僅為 2 公斤，便于攜帶到目標區域
 

　　即使在因電池驅動而沒有商用電源的地方也可以使用
 

　　應用示例
 

　　干燥箱、空間含水量分布、一般氣體